製品詳細/ジルコニアセッター
ジルコニアは、酸化ジルコニウム(ZrO2)を主成分にした セラミックスです。ジルコニアは非常に大きい強度と従 来のセラミックスにはみられない大きな靭性値をもっ ていることが特長です。
近年、日本の電子産業で使用されるセラミックス電子部品は、莫大な数となっています。しかしながら、高温での反応性が高い鉛を含むものが多くなり、製造上の問題を引き起こしています。当社のジルコニアセッターは、独自の製造技術により、薄型セッターの製作を可能にしました。これにより、鉛成分との反応性が抑えられ、処理炉内部の占有率が低下し、セラミック電子部品の量産効果が向上します。
<ジルコニアLG品><ジルコニアピラミッド>
1)1300℃の高温でも鉛成分と反応しない
2)セッター表面が緻密なため、敷き粉が不要であり、製品の後加工が必要ない
3) 強度が大きく、厚さが1oと薄く、炉を有効に使える
名称 TZ−T TZ−C
呈色 白色 白色
密度 [ X103kg/m3 ] 5.9以上 5.7以上
吸収率(%)
機械的性質
硬度 Hmv(GPa) 13.7 12.7
曲げ強度(MPa) 980 600
圧縮強度(MPa) 2842 1960
ヤング率(GPa) 196 225
ポワソン比 0.31 0.25
熱的性質
熱膨脹係数(K-1) 9.5X10-6 10.5X10-6
熱伝導率(J(msK)-1) 4.168 8.336
耐熱衝撃抵抗 (K) 300 180
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